更新時間:2024-10-15
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一、PORTER熱式氣體質(zhì)量流量計設(shè)計特點 
· 熱式原理 
· 一體化設(shè)計 
· 滿量程從 5SCCM 到 1000SLPM 
· 響應(yīng)時間不超過 2 秒鐘 
· 操作壓力可達 20.7MPa 
· 對安裝位置不敏感 
· 316SS 材質(zhì),允許測量腐蝕性氣體 
· 無直管段安裝要求 
· 單電源供電 
二、PORTER熱式氣體質(zhì)量流量計技術(shù)參數(shù) 
流量范圍 :從 0-5SCCM 到 0-1000SLPM N 2 ,具體請參考表一 
響應(yīng)時間 : 1 ~ 2 秒 
精 度 : ± 1% 滿量程(除 204A 型) 
---------± 1± 1.5%.滿量程( 204A 型) 
重 復(fù) 性 : ± 0.2% 滿量程 
量 程 比 : 50:1 ( 2%-100% 滿量程) 
環(huán)境和操作溫度 : -10 ~ 70 ℃ 
大操作壓力 : 3000PSIG ( 20.7MPa ),具體請參考資料
零點漂移: ± 0.05 % 滿量程 / ℃ 
范圍漂移 : ± 0.05 % 讀數(shù) / ℃ 
壓力漂移 : 0.1%/atm (相對于 N 2 ) 
安裝方向 : 對位置不敏感 
預(yù)熱時間 : 10 分鐘 
電氣連接 : 卡式 ( 20 針)或 D 型( 9 針) 
設(shè)定點輸入流量信號輸出 :0-5VDC/0-5VDC;4-20mA/4-20mA
供應(yīng)電源 : 
電壓輸出:+ 12( ± 5 % ) (僅適用于 0-5VDC 和 1-5VDC 流量信號輸出)或 +15( ± 10 % )VDC 
電流輸出:+ 15( ± 5 % ) 或 +24( ± 15 % )VDC 
電流消耗:< 250mAdc 
重 量 :請參考表一
三、結(jié)構(gòu)材質(zhì)
主體: 316SS 
傳感器組件 : 316LSS 
孔: 316SS 
閥構(gòu)成部件 (接液): 
302SS , 316SS , 430FSS , Sandvik?1802 (除 202 、 221 、 222 和 251 型);302SS , 316SS , Sandvik?1802 ( 202 、 221 、 222 和 251 型) 
密封材質(zhì)(" O "型環(huán)和閥座): 
Buna N , EPDM , Kalrez , Neoprene , Viton (除 202A 、 203A 和 204A 型);Buna N , Viton ( 202A 、 203A 和 204A 型) 
過程連接: 316SS
四、選型表
型號  | 流量范圍 小/大 N2  | 大操作壓力 PSIG(MPa)  | 重量 Ibs(Kg)  | 
111  | 0-5SCCM/0-10SLPM  | 1500(10.3)  | 0.9(0.41)  | 
112  | 0-10SLPM/0-100SLPM  | 1500(10.3)  | 2.1(0.95)  | 
113  | 0-100SLPM/0-500SLPM  | 1500(10.3)  | 5.2(2.4)  | 
114  | 0-500SLPM/0-1000SLPM  | 1500(10.3)  | 6.6(3.0)  | 
121  | 0-5SCCM/0-10SLPM  | 3000 (20.7)  | 0.9(0.41)  | 
122  | 0-10SLPM/0-100SLPM  | 3000(20.7)  | 2.1(0.95)  | 
123  | 0-100SLPM/0-500SLPM  | 3000(20.7)  | 10.8(4.9)  | 
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